如何實(shí)現(xiàn)六自由度微小運(yùn)動(dòng)（如微米級(jí)調(diào)整）？

江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-05-22

微動(dòng)控制關(guān)鍵技術(shù)： 傳動(dòng)優(yōu)化：預(yù)緊式滾珠絲杠（軸向間隙≤0.003mm）+直線電機(jī)（分辨率0.1μm）。 控制算法：PID+前饋補(bǔ)償，結(jié)合干擾觀測器（DOB）抑制非線性誤差。 環(huán)境控制：恒溫實(shí)驗(yàn)室（±1℃）減少熱變形影響。 實(shí)測數(shù)據(jù)：在光學(xué)元件對準(zhǔn)中實(shí)現(xiàn)±0.5μm重復(fù)定位精度。

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