RU2系列光柵系統信號處理系統如何降低細分誤差？

蘇州貝格納工業設備有限公司2025-05-13

RU2配備24位真差分ADC芯片，采樣速率達5MSPS，配合數字鎖相環技術將信號抖動控制在5ps以內。采用三階噪聲整形算法，將量化噪聲降低至-120dB水平。動態補償模塊實時分析速度-加速度參數，通過前饋補償消除0.05μm級的動態滯后誤差。獨特的諧波抑制技術可消除3/5次諧波干擾，使信號失真度<0.8%。實驗數據顯示，在1kHz振動環境下，細分誤差峰峰值小于±15nm，比傳統設計提升4倍精度。雙路冗余處理架構確保單通道故障時仍可維持基本測量功能。蘇州貝格納工業設備有限公司的精密信號處理技術，重新定義測量精度標準。

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