半導體設備對電動缸精度有什么要求？

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江蘇邁茨工業智能裝備有限公司2025-04-17

需達到：①定位精度 ±0.01mm，重復定位精度 ±0.005mm；②無油潤滑設計，避免顆粒污染；③防靜電涂層，防止芯片吸附粉塵；④支持真空環境（壓力≤10?3Pa），適配晶圓搬運。

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簡介：江蘇邁茨智能裝備有限公司成立于2013年，專注于伺服電動缸及智能驅動系統，服務客戶2000+企業。

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