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甲酸爐設(shè)備的真空泵維護(hù)周期如何延長(zhǎng)?

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廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-08

采用油霧分離 + 冷凝回收技術(shù),將進(jìn)入真空泵的甲酸蒸汽含量控制在≤0.1ppm,延長(zhǎng)泵油更換周期至 8000 小時(shí)(傳統(tǒng)工藝 2000 小時(shí))。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空泵配備油質(zhì)傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)污染程度并提醒維護(hù)。

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
簡(jiǎn)介:廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。
簡(jiǎn)介: 廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主營(yíng)真空固晶回流焊、熱風(fēng)氮?dú)夂附釉O(shè)備及無(wú)氧銀漿烤箱等設(shè)備。
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