真空鍍膜設備中，高真空蝶閥如何保障膜層均勻性？

上海碟嘉真空閥門有限公司2025-06-08

膜層均勻性依賴真空度穩(wěn)定性，高真空蝶閥通過動態(tài)平衡算法與低放氣率設計實現(xiàn)。其閥體表面鍍鎳磷合金，出氣率低于5×10?1? Pa·m3/s·cm2，配合PID控制器，將真空波動控制在±0.5%以內(nèi)。在AR鍍膜中，閥門將鋁層厚度偏差從±8%降至±2%，反射率一致性提升至99.5%，同時減少靶材浪費15%，降低生產(chǎn)成本。

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