手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IVCV脈沖/動態IV等參數。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺是一種輔助執行機構。北京高溫探針臺報價
晶圓測試是在半導體器件制造過程中執行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準備之前執行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設備執行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。山東探針臺供應自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。
以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上,從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大,半導體設備市場也呈增長趨勢。
探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。半導體測試可以按生產流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環節需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是工作臺的故障。江蘇溫控探針臺價格
探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。北京高溫探針臺報價
半自動探針臺主要應用于需要精確運動、可重復接觸和采集大量數據的場合。一些公司也使用半自動探針系統來滿足其小批量生產要求。半自動探針系統的組成部件大部分與手動探針臺相似,但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的,并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。北京高溫探針臺報價