常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。如果懷疑電容真空計出現故障,應及時進行檢修或更換。浙江mems皮拉尼真空計多少錢
陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造:用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜:確保鍍膜質量。科研實驗:用于高精度真空測量。醫療設備:如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點:高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性,在多個領域得到廣泛應用,盡管成本較高,但其性能優勢明顯。天津高純度真空計多少錢電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質來測量。
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環境來制造燈絲,而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。
3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計原理:利用熱陰極發射電子電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高、測量范圍廣。缺點:熱陰極易損壞,需要較高維護。應用:高真空和超高真空系統。(2)冷陰極電離真空計原理:利用冷陰極放電電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點:無需熱陰極,壽命長。缺點:啟動時間較長,穩定性稍差。應用:高真空和超高真空系統。皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術中,測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低,如有時要測10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象,然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量,再設法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮,使其壓力增高,測出增高后的壓力,再根據壓縮比計算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲,測量氣體熱傳導造成的某些結果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構成熱傳導真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流反應壓力,這就是電離真空計。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。河南高精度真空計
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真空計的拆裝需要謹慎操作,以確保設備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計的一般步驟和注意事項。拆卸步驟斷電與泄壓:關閉電源,確保系統斷電。緩慢泄壓,確保系統內無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計與系統的連接。拆卸真空計:按說明書拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計,避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計和連接部件有無損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無雜質。浙江mems皮拉尼真空計多少錢