晶圓缺陷檢測設備的原理是什么？

岱美儀器技術服務2025-04-05

晶圓缺陷檢測設備是一種用于檢測集成電路、平板顯示器等半導體制造行業中晶圓表面缺陷的設備。其主要原理是利用光學成像技術對晶圓表面進行快速掃描，并通過圖像處理算法來判斷晶圓表面缺陷的類型和位置。具體而言，晶圓缺陷檢測設備通常采用強度調制/投射脈沖（DTI）技術或相位調制/投射脈沖（ATI）技術。這些技術主要是利用光學干涉原理來檢測晶圓表面的缺陷，其測量精度可以達到幾個納米甚至更高。我們岱美以過硬的產品質量、完善的售后服務、認真嚴格的企業管理，贏得了廣大客戶的認可，歡迎廣大客戶前來咨詢！

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