安徽UV納米光刻膠品牌

來源： 發布時間：2025-06-01

憑借綠色產品與可持續生產模式，吉田半導體的材料遠銷全球，并與多家跨國企業建立長期合作。其環保焊片與靶材被廣泛應用于光伏、儲能等清潔能源領域，助力客戶實現產品全生命周期的環境友好。公司通過導入國際標準認證（如 ISO14001 環境管理體系），進一步強化了在環保領域的競爭力。

未來，廣東吉田半導體材料有限公司將繼續以技術創新為驅動，深化綠色制造戰略，為半導體產業的低碳化、可持續發展貢獻力量。以品質為依托，深化全球化布局，為半導體產業發展注入持續動力。
吉田半導體光刻膠，45nm 制程驗證，國產替代方案！安徽UV納米光刻膠品牌

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關鍵應用領域

半導體制造：

? 在晶圓表面涂覆光刻膠，通過掩膜曝光、顯影，刻蝕出晶體管、電路等納米級結構（如EUV光刻膠用于7nm以下制程）。

 印刷電路板（PCB）：

? 保護電路圖形或作為蝕刻抗蝕層，制作線路和焊盤。

 顯示面板（LCD/OLED）：

? 用于制備彩色濾光片、電極圖案等。

 微機電系統（MEMS）：

? 加工微結構（如傳感器、執行器）。

工作原理（以正性膠為例）

1. 涂膠：在基材（如硅片）表面均勻旋涂光刻膠，烘干形成薄膜。

2. 曝光：通過掩膜版，用特定波長光線照射，曝光區域的光敏劑分解，使樹脂變得易溶于顯影液。

3. 顯影：用顯影液溶解曝光區域，留下未曝光的光刻膠圖案，作為后續刻蝕或離子注入的掩蔽層。

4. 后續工藝：刻蝕基材（保留未被光刻膠保護的區域），或去除光刻膠（剝離工藝）。
貴州油墨光刻膠感光膠技術突破加速國產替代，國產化布局贏得市場。

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LCD 正性光刻膠（YK-200）應用場景：LCD 面板的電極圖案化（如 TFT-LCD 的柵極、源漏極）、彩色濾光片制造。特點：高感光度與均勻涂布性，確保顯示面板的高對比度和色彩還原度。
厚膜光刻膠（JT-3001）應用場景：Mini LED/Micro LED 顯示基板的巨量轉移技術，以及 OLED 面板的封裝工藝。特點：膜厚可控（可達數十微米），滿足高密度像素陣列的精細加工需求。
PCB 光刻膠（如 SU-3 負性光刻膠）應用場景：高多層 PCB、HDI（高密度互連）板的線路成像，以及 IC 載板的精細線路制作。特點：抗電鍍性能優異，支持細至 50μm 以下的線寬 / 線距，適應 5G 通信、服務器等 PCB 需求。

技術挑戰與發展趨勢

 更高分辨率需求：

? EUV光刻膠需解決“線邊緣粗糙度（LER）”問題（目標＜5nm），通過納米顆粒分散技術或新型聚合物設計改善。

 缺陷控制：

? 半導體級正性膠要求金屬離子含量＜1ppb，顆粒（＞50nm）＜1個/mL，需優化提純工藝（如多級過濾+真空蒸餾）。

 國產化突破：

? 國內企業（如上海新陽、南大光電、容大感光）已在KrF/ArF膠實現批量供貨，但EUV膠仍被日本JSR、美國陶氏、德國默克壟斷，需突破樹脂合成、PAG純度等瓶頸。

 環保與節能：

? 開發水基顯影正性膠（減少有機溶劑使用），或低烘烤溫度膠（降低半導體制造能耗）。

典型產品示例

? 傳統正性膠：Shipley S1813（G/I線，用于PCB）、Tokyo Ohka TSM-305（LCD黑矩陣）。

? DUV正性膠：信越化學的ArF膠（用于14nm FinFET制程）、中芯國際認證的國產KrF膠（28nm節點）。

? EUV正性膠：JSR的NeXAR系列（7nm以下，全球市占率超70%）。

正性光刻膠是推動半導體微縮的主要材料，其技術進步直接關聯芯片制程的突破，未來將持續向更高精度、更低缺陷、更綠色工藝演進。
吉田半導體全流程解決方案，賦能客戶提升生產效率。

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“設備-材料-工藝”閉環驗證
吉田半導體與中芯國際、華虹半導體等晶圓廠建立了聯合研發機制，針對28nm及以上成熟制程開發專門使用光刻膠，例如其KrF光刻膠已通過中芯國際北京廠的產線驗證，良率達95%以上。此外，公司參與國家重大專項（如02專項），與中科院微電子所合作開發EUV光刻膠基礎材料，雖未實現量產，但在酸擴散控制和靈敏度優化方面取得階段性突破。

政策支持與成本優勢
作為廣東省專精特新企業，吉田半導體享受稅收優惠（如15%企業所得稅）和研發補貼（2023年獲得國家補助超2000萬元），比較明顯降低產品研發成本。同時，其本地化生產（東莞松山湖基地）可將物流成本壓縮至進口產品的1/3，并實現48小時緊急訂單響應，這對中小客戶具有吸引力。

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  1. 全品類覆蓋
    吉田半導體產品線涵蓋正性 / 負性光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、厚膜光刻膠及水性光刻膠等，覆蓋芯片制造、顯示面板、PCB 及微納加工等多領域需求，技術布局全面性于多數國內廠商。
  2. 關鍵技術突破
    納米壓印技術：JT-2000 納米壓印光刻膠耐高溫達 250℃，支持納米級精度圖案復制，適用于第三代半導體（GaN/SiC）及 Mini LED 等新興領域，技術指標接近國際先進水平。
    水性環保配方：JT-1200 水性感光膠以水為溶劑替代傳統有機溶劑，低 VOC 排放，符合 RoHS 和 REACH 標準，環保性能優于同類產品。
    厚膜工藝能力：JT-3001 厚板光刻膠膜厚可控（達數十微米），滿足高密度像素陣列及 MEMS 器件的制造需求。
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