電子探針儀鏡筒部分的構(gòu)造大體上和掃描電子顯微鏡相同,只是在檢測器部分使用的是X射線譜儀、專門用來檢測X射線的特征波長或特征能量,以此來對微區(qū)的化學(xué)成分進(jìn)行分析。因此,除專門的電子探針儀外,有相當(dāng)一部分電子探針儀是作為附件安裝在掃描電鏡或透射電鏡鏡筒上,以滿足微區(qū)組織形貌、晶體結(jié)構(gòu)及化學(xué)成分三位一體同位分析的需要 [1]。用波長色散譜儀(或能量色散譜儀)和檢測計數(shù)系統(tǒng),測量特征X射線的波長(或能量)和強度,即可鑒別元素的種類和濃度。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個聚光鏡的結(jié)構(gòu)。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
X射線譜儀能譜儀電子束轟擊樣品表面將產(chǎn)生特征X射線,不同的元素有不同的X射線特征波長和能量。通過鑒別其特征波長或特征能量就可以確定所分析的元素。利用特征波長來確定元素的儀器叫做波長色散譜儀(波譜儀),利用特征能量的就稱為能量色散譜儀(能譜儀)。1、波譜儀波譜儀的關(guān)鍵在于怎樣實現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素Z聯(lián)系起來?為此設(shè)想有一種晶面間距為d的特定晶體(我們稱為分光晶體),當(dāng)不同特征波長λ的X射線照射其上時,如果滿足布拉格條件(2dsinθ=λ)將產(chǎn)生衍射。顯然,對于任意一個給定的入射角θ*有一個確定的波長λ滿足衍射條件。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家利用探針盒子獲取他人手機號等隱私信息的行為涉嫌侵犯他人隱私,可能面臨民事侵權(quán)責(zé)任及治安管理處罰責(zé)任。
2.界面探針(Interface Probes)非標(biāo)準(zhǔn)的探針,一般是為少數(shù)做大型測試機臺的客戶定做的,例如泰瑞達(dá)(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測試機臺與測試夾具的接觸點和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個測試點中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關(guān)探針(Switch Probes)開關(guān)探針單獨一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測試高頻信號,有帶屏蔽圈的可測試10GHz以內(nèi)的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉(zhuǎn)探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因為其穿透性本來就很強,一般用于OSP處理過的PCBA測試.
為了確定探針是否與相應(yīng)的基因組DNA雜交,有必要對探針加以標(biāo)記,以便在結(jié)合部位獲得可識別的信號,通常采用放射性同位素32P標(biāo)記探針的某種核苷酸α磷酸基。但近年來已發(fā)展了一些用非同位素如生物素-親合素系統(tǒng)、地高辛配體等作為標(biāo)記物的方法。非同位素標(biāo)記的優(yōu)點是保存時間較長,而且避免了同位素的污染。**常用的探針標(biāo)記法是缺口平移法(nick translation)。首先用適當(dāng)濃度的DNA酶Ⅰ(DNAseⅠ)在探針DNA雙鏈上造成缺口,然后再借助于DNA聚合酶Ⅰ(DNa poly merasⅠ)的5’→3’的外切酶活性,切去帶有5’磷酸的核苷酸;同時又利用該酶的5’→3’聚酶活性,使32P標(biāo)記的互補核苷酸補入缺口,DNA聚合酶Ⅰ的這兩種活性的交替作用,使缺口不斷向3’的方向移動,同時DNA鏈上的核苷酸不斷為32P標(biāo)記的核苷酸所取代。應(yīng)用于地質(zhì)、冶金材料、水泥熟料研究等部門。
在不損耗試樣的情況下,電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素;但是對原子序數(shù)小于12的元素,其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一,在有些情況下可達(dá)十萬分之一。檢測的***靈敏度因元素而異,一般為10-14~10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點、線、面上的元素分析,并獲得元素分布的圖象。對原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素,定量分析的相對精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了***臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。還能全自動進(jìn)行批量(預(yù)置9999測試點)定量分析。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
探針卡是IC制造中對制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學(xué)組成以及各元素的重量百分?jǐn)?shù)。分析前要根據(jù)試驗?zāi)康闹苽錁悠罚瑯悠繁砻嬉鍧崱S貌ㄗV儀分析樣品時要求樣品平整,否則會降低測得的X射線強度。定性分析1 點分析用于測定樣品上某個指定點的化學(xué)成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描,甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀(波譜儀或能譜儀)固定在所要測量的某元素特征X射線信號(波長或能量)的位置上,把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描,便可得到該元素沿直線特征X射線強度的變化,從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置,便可得到另一元素的X射線強度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像??梢?,在Al2O3夾雜存在的地方,Al的X射線峰較強。普陀區(qū)質(zhì)量探針生產(chǎn)廠家
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