江蘇原裝晶圓運送機械吸臂公司

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，**化，并經蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%。 吸臂具有高度可調節功能，適應不同尺寸的晶圓。江蘇原裝晶圓運送機械吸臂公司

    目前，直拉法是生長晶圓**常用的方法了，除了直拉法之外，常用的方法還有區熔法。區熔法，簡稱Fz法。1939年，在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區域勻平”的念頭，后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協助下，生長出了高純度的鍺以及硅單晶，并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導體多晶棒料的一端產生一熔區，使其重結晶為單晶。使熔區沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動，進而通過整根棒料，使多晶棒料生長成一根單晶棒料，區熔法也需要籽晶，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 陽江正規晶圓運送機械吸臂工廠手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊。TO-DOM由兩個旋轉模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由度關節。由這樣數個不同構型的二自由度關節可以組裝出具有偶數個自由度的空間機器臂。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節的質量與體積,提高了系統的可靠性。通過對由TODOM構成的一套二自由度關節進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。

    區熔法分為兩種：水平區熔法和立式懸浮區熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區熔法不能用在硅的生長上啦。區熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質更少，生長的材料雜質含量也就更少。總而言之，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態里出來后，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態的硅迅速凝固而導致的。 吸臂具有快速吸附和釋放功能，提高了工作效率。浙江原裝晶圓運送機械吸臂批發

對了懸臂式的機械手，還要考慮零件在手臂上布置。江蘇原裝晶圓運送機械吸臂公司

隨著機器人技術的發展，應用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結構受到工業和航空航天領域的關注。由于運動過程中關節和連桿的柔性效應的增加，使結構發生變形從而使任務執行的精度降低。所以，機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮，實現柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統動力學特性。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統，其動力學方程具有非線性、強耦合、實變等特點。而進行柔性臂動力學問題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛柔耦合的非線性系統，而且也是系統動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統。動力學建模的目的是為控制系統描述及控制器設計提供依據。一般控制系統的描述（包括時域的狀態空間描述和頻域的傳遞函數描述）與傳感器/執行器的定位，從執行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關。 江蘇原裝晶圓運送機械吸臂公司

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