其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。因此擴散時間很短;從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。該結構中,襯底材料107不用進行背面處理,直接與金屬形成良好的歐姆接觸;外延層厚度取決于耗盡區寬度。進一步的,所述外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長;所述的高反層109由折射率~~;高反層109上開設的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔,或者為同心環形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時,孔直徑為10~50um,孔間距為15~50um,圓形孔的總面積為結面積的1/2;所述的刻蝕孔為同心環形孔時,同心環中心與正面金屬電極106的中心重合,同心環中心為刻蝕區,相鄰環間距5~20um。具體的,高反層109可以為多孔結構,可采用矩陣排列(比如采用正方形陣列排列)。硅光電二極管特性給您帶來智能體驗。南京光電硅光電二極管生產廠家
已被廣泛應用于新型太陽能電池、光電探測器和光電存儲器等領域。batio3是一種典型的鈣鈦礦型鐵電材料,其居里溫度大約為120℃,介電常數在室溫下高達幾千,具有良好的鐵電性能。對于一個對稱性的晶胞而言,由于正負電荷中心相互重合,則晶體無法自發極化。為了提高鐵電晶體的極化特性,通過摻雜改變原子的位移,可以使晶胞結構發生畸變,正負電荷中心將難以重合,從而產生自發極化。本發明中,申請人采用靜電紡絲技術制備sr摻雜batio3,改變batio3的晶胞結構,提高batio3的極化能力,從而在znte表面引入表面極化電場,促進batio3/znte界面電荷分離,達到選擇性分離znte載流子的目的,為**光陰極材料的開發提供了一個普適的方法。技術實現要素:本發明針對現有技術的不足,提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。其目的在于利用sr摻雜batio3的極化電場來促進znte光電極材料載流子的**分離,從而提高znte材料光電催化co2還原的活性。本發明的目的通過以下技術方案實現:本發明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。福州國產硅光電二極管供應硅光電二極管原理哪家棒?世華高!
世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成;2)利用等離子刻蝕機在高反層109上以干法刻蝕開設刻蝕孔,并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109;3)刻蝕完成后,在高反層109上以化學氣相淀積的方法生長電阻率500~1000ohm·cm的n-外延層,其厚度與耗盡區寬度相當;4)在外延層101上以as離子源進行n型離子注入,注入劑量1e15~2e15,形成保護環102。與保護環102間距12~20um,在外延層101上以b離子源進行p型離子注入,注入劑量1e15~2e15,形成有源區103;5)在保護環102和有源區103上通過熱氧化法生成sio2層104,在sio2層上方淀積生長si3n4層105;6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔,然后濺射al,并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106;7)在襯底107背面直接進行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實施例。實施例11)在n+重摻雜的襯底107上濺射生成厚度3~5um的高反層109,2)利用等離子刻蝕機干法刻蝕工藝在高反層109刻孔;3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。
深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。據外媒報道,韓國浦項工科大學(PohangUniversityofScienceandTechnology)的一組研究人員已經研發出近紅外(NIR)硅光電二極管,比現有的光電二極管靈敏度高出三分之一。現有的近紅外光電二極管通常由化學材料制成,需要單獨的冷卻裝置,很難集成。而浦項工科大學Chang-KiBaek教授領導的一組研究人員采用沙漏型的硅納米線,增加了硅對紅外光的吸收。位于納米線上方,倒轉的納米錐通過產生回音壁式共振,延長了近紅外-短波紅外(SWIR)光子的停留時間,而下方的納米錐由于反射率低,能夠重新吸收附近納米線的入射光。與現有的平板硅光電子二極管相比,該納米線在1000納米波長下。探索無線可能,世華高硅光電二極管攜手暢享智能體驗。
具體實施方式下面結合實施例對本發明做進一步詳細描述,所述是對本發明的解釋而不是限定,一種高速高響應度的硅基光電二極管,包括背面設有背面電極108的襯底107;襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106;所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區;所述的注入層包括保護環102以及設在其內的有源區103;所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區103相連接。進一步的,所述的襯底107為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上;在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環102,以p型離子注入形成有源區103;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105;所述的正面金屬電極106是在濺射后經刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖,rsh為光電二極管關斷阻抗,rsh=∞,rs為光電二極管串聯電阻。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。世華高硅光電二極管物體檢測效果很好,使用壽命也很長。福州硅光電二極管陣列
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本發明具有以下有益的技術效果:本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管,通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率,耗盡區寬度減小導致響應度的降低,本發明通過增加高反層使得光子在耗盡區中二次吸收來補償;高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時,降低響應時間;由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低,擴散區阻抗很小,因此擴散時間很短;從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管,由于通過低阻材料降低了擴散區電阻,縮短了擴散時間;而高反層的設置提高了長波的吸收效率,降低了耗盡區的物理厚度,縮短了漂移時間,并且在其上開孔減小了擴散區的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發明的結構圖示意圖;圖2為本發明的等效電路示意圖;圖3為本發明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結構高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發明的逐層制備示意圖。圖6為本發明的硅基光電二極管的響應度測試曲線;圖7為本發明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。南京光電硅光電二極管生產廠家