圖4是表示懸掛式起重機的一個例子的圖。圖5是表示高架搬運車的一個例子的圖。圖6是表示起重機用行駛部以及搬運車用行駛部的一個例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是表示與圖7接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是表示與圖8接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示與圖9接續、使懸掛式起重機從存儲庫區域向規定區域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖11是表示規定區域是維護區域的一個例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規定區域的一個例子的俯視圖。具體實施方式以下，參照附圖來說明本發明的實施方式。但是，本發明并不限于該實施方式。另外，在附圖中為了說明實施方式，放大或強調地記載一部分等適當地改變比例尺來表示。圖1是表示本實施方式的搬運系統100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統100例如被設置于半導體設備的制造工廠等，搬運收納有在半導體設備的制造中被使用的半導體晶圓的foup，或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。錫山區學校商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區公司商鋪搬運電話
圖7～圖9是表示通過高架搬運車50搬運物品2時的移動路徑的一個例子的圖。在圖7～圖9中示出從第二保管區域sa2開始以保管區域sa1或者裝置區域ta1為下一個搬運目的地的物品2被第二起重機40b載置于第二交接端口30b的例子。例如，如圖7所示，在物品2被載置于在第二保管區域sa2的+y側端部和-x側配置的第二交接端口30b的情況下，控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運車50進行指示以將第二保管區域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運至保管區域sa1的交接端口30a。高架搬運車50沿著第二區段內頂棚軌道12移動至第二交接端口30b，使橫向伸出機構55向+x方向突出，并驅動升降驅動部54使保持部53下降，由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬運車50根據來自控制裝置60等的信息，獲取以下信息：接收到的物品2的搬運目的地是在保管區域sa1的+y側端部和+x側配置的交接端口30a。此外，第二起重機40b和高架搬運車50在第二區段內頂棚軌道12內，例如沿與順時針相同方向環繞行駛。其結果是，能夠減少第二起重機40b與高架搬運車50產生干擾的時刻、和高架搬運車50彼此產生干擾的時刻。另外。梁溪區公司商鋪搬運電話無錫質量商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
高架搬運車50在從其它存儲庫區域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區st接受了物品2的情況下，能夠沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區域10a的交接口12，在交接口12載置物品2。在高架搬運車50在機架內環繞軌道41行駛的情況下，位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進行物品2相對于交接口12的交接。高架搬運車50在物品2相對于交接口12的交接中，在利用側出機構55使升降驅動部54向外繞軌道41a的側方突出了的狀態下，使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進行物品2相對于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運車50在物品2相對于裝載端口lp的交接中，不驅動或者基本不驅動側出機構55而使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a或者內繞軌道41b的高架搬運車50能夠進行物品2相對于暫存區st的交接。高架搬運車50在物品2相對于暫存區st的交接中，在通過側出機構55使升降驅動部54向外繞軌道41a或者內繞軌道41b軌道的側方突出了的狀態下使物品保持部53升降。物品2相對于暫存區st的交接在外繞軌道41a或者內繞軌道41b的任一個中都能夠進行，高架搬運車50通過改變側出機構55的突出方向就能夠對應(參照圖5)。此外。
起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51均能在起重機軌道20以及高架搬運車軌道40行駛。這樣，起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51是共用的結構，所以不需要以與起重機用行駛部31及搬運車用行駛部51不同的其他結構進行制造，能夠減少懸掛式起重機30以及高架搬運車50的制造成本。此外，可以由一臺懸掛式起重機30使用多臺(例如兩臺)起重機用行駛部31。根據該結構，能夠經由桅桿32適當地保持作為重量物的載置部39以及物品2等。起重機用行駛部31以及搬運車用行駛部51具備共用的車輪71a以及供車輪71a安裝的行駛部主體71b。多個車輪71a分別與起重機軌道20或者高架搬運車軌道40的下方的內表面抵接。供多個車輪71a安裝的行駛部主體71b具備用于驅動車輪71a的行駛驅動部、或者各種傳感器。起重機軌道20以及高架搬運車軌道40具備供電部70。供電部70具有供電導軌75、以及被設置于供電導軌75的非接觸供電線76。供電部70被配置于起重機軌道20以及高架搬運車軌道40的下方，沿著起重機軌道20以及高架搬運車軌道40連續地或者斷續地設置。另外，在懸掛式起重機30的安裝部36以及高架搬運車50的安裝部52a設置有受電部73。受電部73經由非接觸供電線76而受電，向行駛部主體71b等供給電力。無錫學校商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，上述行駛部沿著區段內頂棚軌道、第二區段內頂棚軌道、以及區段間頂棚軌道行駛，其中，起重機在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據本發明所涉及的搬運系統以及搬運方法，通過、第二起重機進行區段內的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數量，通過高架搬運車進行區段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區段內頂棚軌道行駛的、第二起重機的、第二桅桿與裝載端口、、第二保管部、以及、第二交接端口的干擾，并且將區段內頂棚軌道由、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外，在、第二起重機是懸掛式起重機的情況下，由于無需在與、第二起重機對應的地上側(地板面側)設置軌道，因此能夠以低成本進行軌道的設置。另外，在區段內頂棚軌道和第二區段內頂棚軌道是環繞軌道。梁溪區學校商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區公司商鋪搬運電話
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如圖10所示，保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據該結構，能夠將裝載端口lp的上方的空間作為保管區域有效地活用。此外，針對該保管部220(或者交接端口230)，、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。但是，在該結構中，高架搬運車50無法針對裝載端口lp直接進行物品2的交接。另一方面，、第二起重機40a、40b能夠針對裝載端口lp進行物品2的交接。另外，如圖10所示，也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設置保管架80。保管架80在內部的上下方向和左右方向(y方向)設置多個保管部320，并在上表面80a設置有交接端口330。根據該結構，能夠將在、第二處理裝置tl1、tl2之間產生的空間作為保管區域有效地活用。針對保管架80的保管部320，、第二起重機40能夠進行物品2的交接。另外，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。另外，、第二起重機40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運物品2。此外，在圖10中，示出設置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結構。梁溪區公司商鋪搬運電話
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