在半導體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機。作為該起重機公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機,為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機在共用的軌道上行駛的構成(例如,參照文獻1)。文獻1:國際公開第2016/178347號對于文獻1所記載的存儲庫,兩種懸掛式起重機雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區域內。因此,在使該懸掛式起重機向其它的存儲庫區域移動時,或者為了維護而使懸掛式起重機向維護區域移動時,需要從軌道取下并搬運懸掛式起重機。但是,從軌道取下懸掛式起重機的作業麻煩且費事,作業者的負擔大。并且,由于使用特殊的搬運設備搬運已取下的懸掛式起重機,所以不僅成本提高,而且存在搬運也需要時間這樣的問題。技術實現要素:本發明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機在存儲庫區域內與規定區域之間移動而不使用特殊的搬運設備的搬運系統以及搬運方法。本發明的搬運系統具備:被配置于存儲庫區域內的存儲庫。錫山區學校商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州貨車商鋪搬運價錢
以規定的速度使升降臺33下降或者上升。另外,驅動部35b被控制裝置80等控制,將升降臺33保持在目標的高度。升降驅動部35雖被設置于上部支承體37(起重機用行駛部31),但并不限于該結構。升降驅動部35例如也可被設置于升降臺33。作為升降驅動部35被設置于升降臺33的構成例如,也可以將從上部支承體37吊掛下來的帶狀物或者線材等通過搭載于升降臺33的升降機等進行卷繞或抽出而使升降臺33升降。另外,也可將驅動小齒輪的電動馬達等搭載于升降臺33,將該小齒輪嚙合的齒條形成于桅桿32,驅動電動馬達等使小齒輪旋轉,由此使升降臺33升降。如圖1~圖3所示,高架搬運車軌道40被配置于存儲庫區域10a外。高架搬運車軌道40沿著處理裝置tl的裝載端口lp設置,延伸到存儲庫區域(規定區域)10b。高架搬運車軌道40除了懸掛式起重機30的載入時都被設置于在高架搬運車50的運轉中允許作業者的通行的作業者通路10g的上方。另外,懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠在高架搬運車軌道40行駛。根據該結構,能夠使在作業者的進入被禁止的作業者進入禁止區域10f內運轉的懸掛式起重機30、經由被設置于作業者的通行被允許的作業者通路10g上的高架搬運車軌道40而適當地移動。錫山區寫字樓商鋪搬運公司電話濱湖區專業商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
穿梭車、提升機、堆垛機、機器人等。1.離散式搬運的效率由離散式搬運的特點,可以得知,離散式搬運系統的整體效率由如下幾個方面的因素決定:搬運設備的速度v搬運設備的單次承載量l搬運設備的數量n離散式搬運系統的整體效率正比于v,l,n。其中搬運設備的數量較為特殊,與v和l不同的是,v和l只關乎單個搬運設備自身的參數,而n隨著數量的變化帶來的效率低變化并非也直接是n倍的變化,因為設備與設備之間會互現制約和印象,設備在運行期間都會占用一定的公共資源,比如通道、收貨接駁權利,送貨接駁權利等等,因此n個設備的整體效率會小于n倍。設備與設備之間的制約往往會帶來等待,搬運設備繞行等等的影響。2.離散搬運效率的計算A點到B點離散搬運效率對于離散搬運系統的效率計算,簡單直觀的方法是讓搬運設備連續不停的搬運,將物料從A點搬運到B點。在B點觀察并數數,可以在一定的時間T內數總共到被搬運到B點有多少個物料單元。時間T取的越長,效率評價越客觀。比如在8個工時內,從工位A點搬運到達倉庫有800個料箱,那入庫的平均效率可以計算得出100個料箱/小時。而大部分情況下,我們無法按照像上邊的情形供我們去現場真的去數數。
如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據該結構,能夠將裝載端口lp的上方的空間作為保管區域有效地活用。此外,針對該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。但是,在該結構中,高架搬運車50無法針對裝載端口lp直接進行物品2的交接。另一方面,、第二起重機40a、40b能夠針對裝載端口lp進行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設置保管架80。保管架80在內部的上下方向和左右方向(y方向)設置多個保管部320,并在上表面80a設置有交接端口330。根據該結構,能夠將在、第二處理裝置tl1、tl2之間產生的空間作為保管區域有效地活用。針對保管架80的保管部320,、第二起重機40能夠進行物品2的交接。另外,針對保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。另外,、第二起重機40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運物品2。此外,在圖10中,示出設置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結構。惠山區企業商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
可以區段內頂棚軌道和第二區段內頂棚軌道是環繞軌道,起重機和高架搬運車在區段內頂棚軌道朝向同一方向環繞行駛,第二起重機和高架搬運車在第二區段內頂棚軌道朝向同一方向環繞行駛。另外,可以交接端口和第二交接端口配置于保管部和第二保管部各自的上層。另外,本發明所涉及的搬運方法是如下搬運系統的搬運方法,上述搬運系統具備:區段內頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置;第二區段內頂棚軌道,其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設置;區段間頂棚軌道,其將區段內頂棚軌道與第二區段內頂棚軌道連結;保管部和第二保管部,它們在區段內頂棚軌道和第二區段內頂棚軌道各自的下方且側方沿上下方向設置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們設置于區段內頂棚軌道和第二區段內頂棚軌道各自的下方且側方;起重機,其具備沿著區段內頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導而升降的移送部;第二起重機,其具備沿著第二區段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部;以及高架搬運車。濱湖區學校商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江陰專業商鋪搬運公司哪家好
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通常沿著存儲庫區域10a內的起重機軌道20行駛并且在存儲庫區域10a內在保管部11與交接口12之間移載物品的懸掛式起重機30,根據需要能夠經由以及第二連結軌道60a、60b以及高架搬運車軌道40而移動到存儲庫區域10a外的規定區域(存儲庫區域10b)。根據該結構,不使用特殊的搬運設備就能夠容易且不花費時間地使懸掛式起重機30在存儲庫區域10a內與規定區域(存儲庫區域10b)之間移動。其結果是,不需要從軌道取下懸掛式起重機30這樣的麻煩的作業,并且也不需要用于搬運已被取下的懸掛式起重機30的特殊的搬運設備,所以能夠抑制成本的增加。在上述實施方式中,以規定區域是其它存儲庫區域10b的情況為例進行了說明,但并不限于該結構。圖11以及圖12是表示規定區域的其它例子的圖。在以下的說明中,對于上述實施方式相同或者等同的結構部分標注相同的符號并省略或者簡化說明。如圖11所示,規定區域也可是維護區域10c。維護區域10c具有起重機軌道20c、以及多個維護裝置mn。多個維護裝置mn沿著起重機軌道20c配置。在該結構中,在使懸掛式起重機30從存儲庫區域10a向維護區域10c移動的情況下,與上述實施方式相同。徐州貨車商鋪搬運價錢
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