福建輪廓儀出廠價

來源: 發布時間:2021-06-08

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配:1280×960

視場范圍

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統

同軸照明無限遠干涉成像系統

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  支持連接MES系統,數據可導入SPC。福建輪廓儀出廠價

1.5. 系統培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;

    數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;

    實際演示一一講解;

    如何做好備份和恢復備份資料;

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說;

    數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;

    在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。

    備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。 3D形貌輪廓儀廠家通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數,**提高物件在生產加工時的精確度。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術,不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網。

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統主要配置 :

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度:200mm/s

? Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進

? 隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產品信息

? 主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm


如果想要了解更加詳細的產品信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 表面三維評定參數由于能更***,更真實的反應零件表面的特征。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術封裝生產線檢測

集成電路工藝技術研發和產業化


國家重點實驗室

高 效太陽能電池技術研發、產業化


MEMS技術研發和產業化

新型顯示技術研發、產業化


超高精密表面工程技術


輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉換成電信號,該電信號經放大和處理,再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網絡) 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。粗糙度儀輪廓儀技術原理

NanoX-8000主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。福建輪廓儀出廠價

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?

答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數;

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?


如果需要了解更多,請訪問官網。 福建輪廓儀出廠價

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