研究所輪廓儀實際價格

來源: 發布時間:2021-10-23

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)

白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm。研究所輪廓儀實際價格

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輪廓儀的培訓

一、 培訓承諾

    系統建成后,我公司將為業主提供為期1天的**培訓和技術資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現場;

    系統操作及管理人員的培訓人數為10人,由業主指定,我公司將確保相關人員正確使用該系統;


1.1. 培訓對象

    系統操作及管理人員(培訓對象須具有專業技術的技術人員或實際值班操作人員);

    其他業主指定的相關人員。


1.2. 培訓內容

    系統操作使用說明書。

    培訓課程的主要內容是系統的操作、系統的相關參數設定和修改和系統的維修與保養與簡單升級等,具體內容如下:

    * 系統文檔解讀;

    * 系統的技術特點、安裝維護和系統管理方式;

    * 系統一般故障排除。





中芯國際輪廓儀推薦型號物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求。

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輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配:1280×960

視場范圍

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統

同軸照明無限遠干涉成像系統

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 

表面三維輪廓儀對精密加工的作用:

一、從根源保障物件成品的準確性:

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數,**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產加工的更大偏離,**終導致整個生產鏈更大的損失。

二、提高效率:

  智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數,即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數,無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供***的檢測結果作為評定依據,可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。

四、穩定性強,高重復性:

  儀器運用高性能內部抗震設計,不受外部環境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度 1um。

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輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。(來自網絡)



先進的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ,納米移動平臺及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機


輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。實驗室輪廓儀聯系電話

擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。研究所輪廓儀實際價格

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關產業

– 集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯

半導體,華潤安盛等

? MEMS相關產業

– 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關產業

– 常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD、PCB等產業

– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等  



具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

XY運動速度 **快


如果有什么問題,請聯系我們。


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