Polos光刻機在微機械加工中表現outstanding。其亞微米分辨率可制造80 m直徑的開環諧振器和2 m叉指電極,適用于傳感器與執行器開發。結合雙光子聚合技術(如Nanoscribe系統),用戶還能擴展至3D微納結構打印,為微型機器人及光學元件提供多尺度制造方案。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。生物界面創新:微納結構可控加工,為組織工程提供新型仿生材料解決方案。湖北德國桌面無掩模光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
柔性電子是未來可穿戴設備的core方向,其電路圖案需適應曲面基底。Polos 光刻機的無掩模技術在聚酰亞胺柔性基板上實現了 2μm 線寬的precise曝光,解決了傳統掩模對準偏差問題。某柔性電子研究中心利用該設備,開發出可貼合皮膚的健康監測貼片,其傳感器陣列的信號噪聲比提升 60%。相比光刻膠掩模工藝,Polos 光刻機將打樣時間從 72 小時壓縮至 8 小時,加速了柔性電路的迭代優化,推動柔性電子從實驗室走向產業化落地。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。河南光刻機MAX層厚可達到10微米材料科學:超疏水表面納米圖案化,接觸角 165°,防腐蝕性能增強 10 倍。
一家專注于再生醫學的科研公司在組織工程支架的研究上,使用德國 Polos 光刻機取得remarkable成果。組織工程支架需要具備特定的三維結構,以促進細胞的生長和組織的修復。Polos 光刻機能夠根據預先設計的三維模型,在生物可降解材料上精確制造出復雜的孔隙結構和表面圖案。通過該光刻機制造的支架,在動物實驗中表現出優異的細胞黏附和組織生長引導能力。與傳統制造方法相比,使用 Polos 光刻機生產的支架,細胞在其上的增殖速度提高了 50%,為組織工程和再生醫學的臨床應用提供了有力支持。
單細胞分選需要復雜的流體動力學控制結構,傳統光刻難以實現多尺度結構集成。Polos 光刻機的分層曝光功能,在同一片芯片上制備出 5μm 窄縫的細胞捕獲區與 50μm 寬的廢液通道,通道高度誤差控制在 ±2% 以內。某細胞生物學實驗室利用該芯片,將單細胞分選通量提升至 1000 個 / 秒,分選純度達 98%,較傳統流式細胞儀體積縮小 90%。該技術已應用于循環tumor細胞檢測,使稀有細胞捕獲效率提升 3 倍,相關設備進入臨床驗證階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。納 / 微機械:亞微米級結構加工,微型齒輪精度達 ±50nm,推動微機電系統創新。
Polos光刻機與德國Lab14集團、弗勞恩霍夫研究所等機構合作,推動光子集成與半導體封裝技術發展。例如,Quantum X align系統的高對準精度(100 nm)為光通信芯片提供可靠解決方案,彰顯德國精密制造與全球產業鏈整合的優勢。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。Polos-BESM XL:大尺寸加工空間,保留緊湊設計,科研級精度實現復雜結構一次性成型。湖北BEAM-XL光刻機MAX層厚可達到10微米
德國 SPS Polos:深耕微納加工 35 年,專注半導體與生命科學領域,全球布局 6 大技術中心,服務 500 + 科研機構。湖北德國桌面無掩模光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
某材料科學研究中心在探索新型納米復合材料的性能時,需要在材料表面構建特殊的納米圖案。德國 Polos 光刻機成為實現這一目標的得力工具。研究人員利用其無掩模激光光刻技術,在不同的納米材料表面制作出各種周期性和非周期性的圖案結構。經過測試發現,帶有特定圖案的納米復合材料,其電學、光學和力學性能發生了remarkable改變。例如,一種原本光學性能普通的納米材料,在經過 Polos 光刻機處理后,對特定波長光的吸收率提高了 30%,為開發新型光電器件和光學傳感器提供了新的材料選擇和設計思路 。湖北德國桌面無掩模光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸