HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成*條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況，常州無塵工業烤箱。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物，常州無塵工業烤箱，常州無塵工業烤箱。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。單門精密紅外線烤箱。常州無塵工業烤箱
一、設計依據：烘烤線設計說明：1.工件烘烤（1）爐體採用天然氣燃燒後進行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規劃（2）爐體採用輥筒輸送，爐體加熱段設計連續烘烤。（3）爐體加熱段採用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內滾筒輸送線總長：37米；動力分為6段，每段長度大約6.1左右。（動力分段以后續實際設計為準）4.傳動採用步進式驅動：電機配合減速機一體式；5.烤爐側板為巖棉板，價格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風迴圈方式.5.加熱方式為燃氣燃燒機加熱。（日本正英公司是燃燒技術領域的企業之一，主要產品包括燃氣、燃油及雙燃料燃燒器及相關附件，功率范圍為12至17500千瓦。）二、設計目標：本步進式砂芯烘烤爐主要承擔工件的烘乾等工序作業，整個設備設計成熟在原先樣機的基礎上會做的更好，在有限的場地，能滿足客戶對於產能、溫度、時間的要求，同時工人操作條件安全良好，建成後可達到同期國內同類產品的先進水準。工業園區無塵工業烤箱出售干燥爐及隧道爐生產廠家。
六、安全保護系統1.空氣開關（防止過流和短路）2.電機過流過熱保護3.超溫保護（防止工作室溫度過高，保護產品），報警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品八、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。
環境條件環境溫度-5℃-45℃相對濕度≤85%RH安裝場地烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供**的配電開關并負責設備外部的電源連接。周圍無強烈的振動和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒有導電性塵埃。沒有影響裝置使用的磁界及沒有沖擊和震動。電源AC380V±5%，50Hz三相五線其他保固期整機1年（天災、電力異常、人為使用不當、保養不當造成的損壞外，本公司完全免費維修）。售后電話響應時間1小時，售后服務到達到現場響應時間為24小時。出貨檔機器規格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養，簡易故障的排除）。鏈板式輸送隧道烤箱。
安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業人員到需方現場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日工業烘箱品牌生產廠家。南通恒溫工業烤箱維修
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材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風系統方式1.專業的送風，排風系統，確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質為，不銹鋼304加熱器。常州無塵工業烤箱
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